MEMS三维动态测试系统的同步控制方法

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【摘要】

：

为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控

【作者】

：

谢勇君刘世元史铁林来五星白金鹏刘胜

【机构】

：

华中科技大学微系统研究中心

【出处】

：

仪器仪表学报

【发表日期】

：

2005年10期

【关键词】

：

同步控制微机电系统动态测试频闪相移相对延时

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为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.

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