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对MoSi2及其复相材料在高温下长时间老化后表面玻璃膜结构进行了研究,并用电学测试手段对表面玻璃膜的生成过程进行跟踪测试.研究了M0Si2及MoSi2-SiC的氧化机理,发现其氧化速度顺序为MoSi2>MoSi2-SiC.对添加氧化物的复相材料来讲,其玻璃膜的生成速度顺序为MoSi2>MoSi2-莫来石>MoSi2-A12O3.