【摘 要】
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叙述了超高纯气体供给系统中的气体过滤器的发展趋势。散装气体粒子分析的检测极限比气相痕量杂质的分析低得多。通过气体供给系统的过滤器之后，在使用点上就能保证散装气体的
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叙述了超高纯气体供给系统中的气体过滤器的发展趋势。散装气体粒子分析的检测极限比气相痕量杂质的分析低得多。通过气体供给系统的过滤器之后，在使用点上就能保证散装气体的粒子浓度极低。而且近来超高纯气体的每个组分的质量也得到了改善，因此超高纯气体供给系统中过滤器的总数在减少。另一方面，如果是电子气，则采用过滤器并不是获得极低粒子浓度的理想的解决办法，因为某些电子气可因分解或腐蚀而产生粒子。了解电子气的这两种特性，以及掌握一定的处理技术，对于在使用点保证低粒子浓度的气体是非常重要的。
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