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简要回顾了用于生物医学领域的微型机电系统 (生物微机电系统 :BioMEMS)的发展历程 ,侧重介绍了其目前的主要研究状况 ,对用于实现BioMEMS的主要共性关键技术进行了分析。同时 ,对BioMEMS的应用前景也进行了讨论 ,认为BioMEMS在生命科学、医学等领域中必将获得巨大的应用 ,由此可推动相关科学技术的飞快发展