面向MEMS微装配的夹持器的设计和实验研究

来源 :机械设计与研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hongxing35

【摘要】

：

介绍了一种由PZT(压电陶瓷)驱动的用于MEMS微装配的微夹持器的设计,计算了夹持器本体的放大倍数和刚度.并用ANSYS仿真验证了数学计算的准确性.采用了基于视觉的标定方法,标定

【作者】

：

荣伟彬谢晖孙立宁庄攀峰

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【出处】

：

机械设计与研究

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

压电陶瓷 MEMS微装配微夹持器标定 PTZ MEMS microassembly micro-gripper calibration

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介绍了一种由PZT(压电陶瓷)驱动的用于MEMS微装配的微夹持器的设计,计算了夹持器本体的放大倍数和刚度.并用ANSYS仿真验证了数学计算的准确性.采用了基于视觉的标定方法,标定了微夹持器刚度、张合量、夹持力以及夹持力和张合量的关系.实验表明:夹持器张合量达280μm,夹持力达0.1N,可精确操作200～2000μm的微齿轮,实现了微行星齿轮减速器的装配.

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