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电子工业用超纯超细硅粉的研制

来源 :上海有色金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yaojing45

【摘 要】

：

本文根据硅材料的特性以及电子工业对硅粉纯度和粒度的特殊要求，从硅粉的制取方法、原材料和磨具材质的选择以及酸浸出等方面作了讨论，并将制备的硅粉与日本的产品作了比较。

【作 者】

：

姚祖敏 

【机 构】

：

上海有色金属研究所

【出 处】

：

上海有色金属

【发表日期】

：

1996年1期

【关键词】

：

硅粉 超纯 超细 颗粒度 电子工业 半导体 Silicon powder Superpure Superfine Grain size 

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本文根据硅材料的特性以及电子工业对硅粉纯度和粒度的特殊要求，从硅粉的制取方法、原材料和磨具材质的选择以及酸浸出等方面作了讨论，并将制备的硅粉与日本的产品作了比较。

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