调制周期对TiCrN/WN多层膜结构与力学性能的影响

来源 :天津师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yaoshikyo

【摘要】

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为了研究调制周期对TiCrN/WN多层薄膜结构与力学性能的影响,采用超高真空射频磁控溅射系统在Si(100)基底表面制备了一系列TiCrN/WN多层薄膜,利用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显

【作者】

：

王明霞刘宸宇李德军吴萍

【机构】

：

天津师范大学物理与材料科学学院,天津大学理学院

【出处】

：

天津师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2018年6期

【关键词】

：

磁控溅射 TiCrN/WN多层薄膜调制周期机械性能

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA034702);国家自然科学基金资助项目(51772209,51472180,51572190)

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为了研究调制周期对TiCrN/WN多层薄膜结构与力学性能的影响,采用超高真空射频磁控溅射系统在Si(100)基底表面制备了一系列TiCrN/WN多层薄膜,利用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪和表面轮廓仪等分析TiCrN/WN多层膜的结构特征以及硬度、应力和弹性模量等机械性能.结果表明:TiCrN/WN多层膜具有周期性良好的调制结构,调制界面清晰.调制周期的改变对TiCrN/WN多层膜的结构和机械性能影响较大.当调制周期Λ=25nm时,多层膜体系表现出较强的W2N(111)和TiC

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