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用355mm紫外激光进行了蓝宝石晶圆的划切试验，通过改变激光的脉冲重复频率、入射能量密度和扫描速度，得到了多组微槽。对微槽的划切质量、深度和宽度进行检测和分析。结果表明，紫外激光划切蓝宝石晶圆能获得良好的微槽结构；不同的入射激光能量密度、脉冲重复频率和扫描速度对微槽的深度和宽度有不同的影响；晶圆表面粗糙度对微槽的划切质量影响很大。