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一种用线阵CCD测量物体表面三维轮廓的新方法
一种用线阵CCD测量物体表面三维轮廓的新方法
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tszl8
【摘 要】
:
提出了一种用线阵CCD对物体三维轮廓进行测量的新方法.通过矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,利用线阵CCD对物体进行扫描采样,采用三步相移技术进行相位解调,对物体三维轮廓进
【作 者】
:
周鸿
赵宏
【机 构】
:
西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所,西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
相移法
三维轮廓
线阵
光电荷合器件
linear CCD phase shift 3D profilometry
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提出了一种用线阵CCD对物体三维轮廓进行测量的新方法.通过矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,利用线阵CCD对物体进行扫描采样,采用三步相移技术进行相位解调,对物体三维轮廓进行测量.重点分析讨论了用线阵CCD对物体三维轮廓进行测量的原理和特性,并给出了试验简图及实际测量结果.
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