高压绝缘α—Al2O3涂层的XPS和EELS表面分析

来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:up2hyolee
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用不同配方的Mn,Cr,Ti混合物涂复α-Al2O3绝缘瓷表面,在适当的条件下热处理,利用XPS和EELS测试分析了表面层的电子能态.发现在退火后各涂层成分的含量变化明显,由于配方元素不同程度地扩散、渗透进95Al2O3陶瓷基底内,通过反应生成了新相;根据价带谱和EELS分析,其表面层的价带顶移向真空能级,使能隙减小;能隙中的缺陷态、杂质态及表面态增加,有利于内次级电子的非弹性跃迁和二次电子发射系数的减小.
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