硅片的超声流体喷射抛光实验研究

来源 :机械设计与制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Akobe
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
基于兆赫级压电振子驱动提出,一种新的流体喷射抛光方法,利用Z4120台式钻床搭建了流体喷射超声抛光实验装置,以2吋硅片为喷射抛光对象,通过实验验证了该抛光方法对硅片的精密化学机械抛光的实际效果.实验结果表明,在相同的实验工况下,硅片与喷射流的相对转速越高,抛光的效果越好.硅片转速相比抛光时间对硅片表面的粗糙度影响效果更明显.该抛光方法因无须借助抛光垫的接触作用,能使硅片在精密抛光过程中,避免抛光工具对硅片表面的损伤.
其他文献
教师的课堂表达行为几乎融入整个教学活动,对学生的发展产生直接作用,对教学效果产生影响。在'以人为本'核心价值观的指导下,应从观念上做到以学生先行,让学生从&#39
摘要:目的:研究并分析传统疝修补术与无张力腹股沟疝修补术后慢性疼痛的发生原因与治疗方法。方法:选择我院于2011年1月到2013年6月实施疝修补术的100例患者为研究对象,根据手术方式的不同分为传统疝修补组与无张力疝修补术组,分析两组患者术后慢性疼痛的发生原因与治疗方法。结果:患者术后疼痛发生时间为手术完成后的1周到16个月;传统疝修补术的45例患者中,4例发生慢性疼痛,慢性疼痛发生率为8.9%;
【正】 1957年,在全国开展了一场对武训和电影《武训传》的批判运动。尽管这场运动是以讨论的形式进行的,而实际却是一场被称为“严肃”的思想政治斗争。三十五年过去了,现在
当你在运动后出现反应能力下降、平衡感降低、肌肉的弹性减小,一到运动场地就头晕恶心,吃不香、睡不好,抑郁、易怒,便秘、腹泻,易感冒等状态时,就要小心了。如果有类似的体验,很可能是运动性晕厥的预兆。  在运动过程中或运动后,由于脑部血液供给不足等原因所致的突发性、短暂性意识丧失,肌张力消失并且摔倒的现象,称为运动性晕厥。下面是最常见的四种运动性晕厥。  低血糖性晕厥:由于长时间剧烈运动后,体内血糖消耗