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综述了微硅加速度计的发展概况,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用,提出了对发展硅微加工技术的初步想法.
微硅加速度计技术综述
【摘 要】
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综述了微硅加速度计的发展概况,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用,提出了对发展硅微加工技术的初步想法
【出 处】
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飞航导弹
【发表日期】
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2002年9期
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