扫描声学显微镜对固体材料表面非均性的研究

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反射式声学显微镜的输出信号主要由近轴声波的反射信号以及声表面弹性波的漏波信号组成。其中漏波信号是否存在,决定于瑞利角θR是否落在声学透镜的孔径张角θm以内。本文在此基础上,设计了一种带有声阑的声学透镜,利用声表面弹性波对固体材料表面的非均性进行了研究,获得了材料表面微弱梯度非均性的分布图象。 The output signal of the reflective acoustic microscope is mainly composed of the reflected signal of the paraxial sound wave and the leaky wave signal of the acoustic surface elastic wave. Which leak signal exists, depending on whether the Rayleigh angle θR falls within the aperture of the acoustic lens opening angle θm. Based on this, a kind of acoustical lens with a sound stop is designed. The surface acoustic anisotropy of the solid material is studied by the surface acoustic wave, and the distribution image of the faint gradient of the material surface is obtained.
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