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集成电路产业的发展一直以来都在遵循摩尔定律,随着2007-2008年国际主要集成电路制造商(IDM)以及代工商(Foundry)进入45nm产品量产阶段,对32nm以及22nm技术的研究开发,成为整个产业链关注和竞争的焦点.
32纳米技术代工艺挑战及对硅刻蚀设备的要求
【摘 要】
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集成电路产业的发展一直以来都在遵循摩尔定律,随着2007-2008年国际主要集成电路制造商(IDM)以及代工商(Foundry)进入45nm产品量产阶段,对32nm以及22nm技术的研究开发,成为整
【出 处】
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电子元器件资讯
【发表日期】
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2009年3期
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