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按图案的生成方式可分为图案的直接生成、掩膜复制法和硬质模板复制法3大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法和光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法和光敏凝胶膜法等；硬质模板法也称软刻蚀技术，分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光．盖印印刷等技术。本文综述了图案化TiO2薄膜的制备技术，对每类方法的优缺点作了评述，对今后图案化TiO2薄膜制备的研究方向提出了一些建议。