高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti（C，N）薄膜研究

来源 :机械工程材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hrbhou

【摘要】

：

用高能量密度脉冲等离子体同轴枪分别在硬质合金和氮化硅陶瓷刀具基体上沉积了Ti(C,N)薄膜,研究了各种因素对薄膜相转化的影响,通过XRD分析,最后得到合适的Ti(C,N)薄膜沉积工

【作者】

：

彭志坚苗赫濯杨思泽刘赤子齐龙浩潘伟

【机构】

：

清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,中国科学院物理研究所

【出处】

：

机械工程材料

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

高能量密度脉冲等离子体碳氮化钛薄膜刀具相转化 pulsed high energy density plasma Ti(C N) coating cutt

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用高能量密度脉冲等离子体同轴枪分别在硬质合金和氮化硅陶瓷刀具基体上沉积了Ti(C,N)薄膜,研究了各种因素对薄膜相转化的影响,通过XRD分析,最后得到合适的Ti(C,N)薄膜沉积工艺条件是:枪压3.5kV,同轴枪与试样间距30～40mm,氮气进气压力0.2MPa,电磁阀电压1.5kV,脉冲等离子轰击次数5次以上.

其他文献

PSR／E51／BC共混体系弹性磨具的性能

研究了PSR（聚硫橡胶）／E51（环氧树酯）／BC（棕刚玉）三元共混体系的网络互穿和环氧树脂与棕刚玉的加入量对45钢磨光表面粗糙度的影响。试验表明：连续的网络结构对金属表面粗糙度的影响极大

期刊

聚硫橡胶环氧树酯弹性磨具表面粗糙度polysulfide rubber epoxy resin elastic abrasive tool coarse

Al-TiO2-C系热扩散反应合成铝基复合材料的组织与性能

讨论了Al-TiO2-C系热扩散反应合成铝基复合材料的组织、常温力学性能及其断裂机理。结果表明：当碳、TiO2化学计量比为0时，增强相由αAl2O3和Al3Ti组成；随碳、TiO2化学计量比的增

期刊

热扩散反应铝基复合材料力学性能exothermic dispersion reaction aluminum matrix composite mecha

等径角轧制ZK60镁合金板材的组织与性能

对采用等径角轧制工艺（ECAR）制备的ZK60镁合金板材研究发现，与直接轧制的板材相比，等径角轧制板材的晶粒取向由（0002）基面取向演化为非基面取向，经等径角轧制后，板材晶粒没有得到细化

期刊

等径角轧制ZK60镁合金板材晶粒取向equal channel aqngular rolling ZK60 magnesium alloy sheet c

如何写出有个性的作文

写作文就像穿衣服,穿衣有个性,能吸引人的眼球;写作文有个性,同样也能吸引人的眼球。那么,如何才能写出有个性的作文呢?教师要引导学生学会观察和积累,能找出事物之间的不同

期刊

作文教学观察积累个性

16MnR钢在含H2S液化石油气中服役后性能的变化

对未使用过的和在液化石油气环境中服役多年的16MnR钢的化学成分、力学性能和耐腐蚀性进行了对比研究.结果表明:服役过旧材料的化学成分没有发生明显变化,但力学性能有一定程

期刊

16MNR钢液化石油气性能16MnR steel LPG property

高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti（C，N）薄膜研究

其他学术论文