【摘 要】
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利用自己设计的适合深亚微米SOIMOS器件模型及SPICE电路模拟程序，详细分析了小尺寸SOI器件的阈值电压，饱和漏电流，电导，跨导等与工艺参数的关系，通过大量的模拟，计算，我们提出了小尺
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利用自己设计的适合深亚微米SOIMOS器件模型及SPICE电路模拟程序，详细分析了小尺寸SOI器件的阈值电压，饱和漏电流，电导，跨导等与工艺参数的关系，通过大量的模拟，计算，我们提出了小尺寸FD SOIMOSFET的设计方案，并根据该方案研制出性能优良的沟道长度为0.2 μm的SOIMOS器件。
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