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以V2O5和Zr(NO3)4.5H2O为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了掺Zr^4+的VOx(2≤X≤2.5)相变薄膜。通过对掺杂薄膜的物相组成、价态、相结构的XPS和XRD分析及电阻突变量级和电阻突变温度的测试,结果发现:所制备的掺杂薄膜其主要成分是VO2,所掺入的Zr与VOx完全互溶,但其中Zr的价态未发生改变。掺杂薄膜随Zr含量的增加其电阻突变温度下降.同时其电阻突变量级也随之降低。