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采用热丝化学气相沉积生长出优异的金刚石薄膜，研究了薄膜的分层生长过程，薄膜的层状结构及膜厚随沉积时间的变化特性。
金刚石薄膜的分层生长
【摘 要】
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采用热丝化学气相沉积生长出优异的金刚石薄膜，研究了薄膜的分层生长过程，薄膜的层状结构及膜厚随沉积时间的变化特性。
【机 构】
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湖南大学化学化工系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年4期
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