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阐述了基于SOI材料制造新型磁敏三极管的设计原理和制造工艺。构成新型磁敏三极管的复合区采用MEMS中的各向异性腐蚀技术进行设置,给出了这种复合区的复合机理。实验结果表明,此种三极管具有磁灵敏度高、噪声低和可靠性高的特点。
基于SOI材料制造新型磁敏三极管
【摘 要】
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阐述了基于SOI材料制造新型磁敏三极管的设计原理和制造工艺。构成新型磁敏三极管的复合区采用MEMS中的各向异性腐蚀技术进行设置,给出了这种复合区的复合机理。实验结果表明
【机 构】
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哈尔滨威克科技股份有限公司
【出 处】
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哈尔滨轴承
【发表日期】
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2007年2期
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