论文部分内容阅读
目前压电作动器在许多领域都取得了成功的应用。随着科学技术的发展，人们对定位的精度要求越来越高，而压电作动器以其定位精度高、抗干扰能力强的优点受到越来越多研究者的青睐。本文对用于精密定位领域的三种形式的压电作动器进行了研究，着重分析了各种压电作动器的原理、特点和研究现状，最后提出了用于精密定位领域的压电作动器的几个发展方向。