论文部分内容阅读
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能.光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一.主要介绍了光学编码器的基本原理及其在控制系统中的应用,分析了其引起系统位置偏差及故障的原因.
光学编码器在离子注入机中的应用
【摘 要】
：
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能.光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第48研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2004年1期
其他文献
牙髓炎是一种以G^-厌氧菌感染为主的炎性疾病。细菌在损害组织的同时，还释放各类毒性产物，如LPS等激发机体免疫系统，产生多种细胞因子，参与免疫炎性反应。白细胞介素-8（Interleuki
当前我国《纳税会计》课程的教授内容狭窄,与《财务会计学》内容重复严重,而应该教授的内容却凤毛麟角,因此,必须对《纳税会计》课程的教学内容进行重新设置。本文就《纳税会
通识教育是高等教育的组成部分。受欧美国家大学的影响,中国高校也开始重视并实践通识教育。本文从通识教育的起源和内涵的角度出发,通过研究美国大学的通识教育实践,对中国
目的对γ-刀立体定向放射治疗肺癌引起致命性大咯血死亡3例进行分析。方法63例肺痛患者接受不同治疗。19例患者接受γ-刀立体定向放射治疗，44例接受化疗。结果接受γ-刀立体定