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用活性屏离子渗氮技术分别对处于悬浮电位和阳极电位的AISI316L奥氏体不锈钢进行低温渗氮处理。并对渗氮层的组织、形貌、相结构、显微硬度和耐蚀性能进行分析。结果表明,在这两种电位状态下处理的试样均可获得具有S相结构特征的单相硬化层。渗氮层不仅具有高的硬度,还有良好的耐蚀性能。在活性屏离子渗氮过程中,从活性屏上溅射下来的中性S相粒子也可以起到氮载体的作用。活性屏空间中性粒子和电子的撞击足以消除不锈钢表面钝化膜对氮的阻隔作用。