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利用扫描白光干涉的测量方法，通过透射反射干涉的方式，对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试，实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证．该测量方法是在Pizeo的驱动下，通过改变测量臂和参考臂之间的光程差，使其不同高度的表面到达零光程差位置，并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况，进而提取被测件的三维形貌信息．该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点．可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法．