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利用自行研制原子力显微镜开发了一套纳米加工系统,系统利用软件预先读入图形,根据图形控制探针的精确走向,实现复杂图案的矢量式扫描刻蚀,并且对陶瓷管的非线性畸变实现了软件矫正,实验表明系统可加工出精细的纳米图形,为进一步加工出更为精细复杂的纳米器件奠定了基础.
AFM纳米加工系统设计
【摘 要】
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利用自行研制原子力显微镜开发了一套纳米加工系统,系统利用软件预先读入图形,根据图形控制探针的精确走向,实现复杂图案的矢量式扫描刻蚀,并且对陶瓷管的非线性畸变实现了软
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2005年2期
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