Overview of worldwide MEMS industry and market

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lohansun

【摘要】

：

1 IntroductionIt has been a long history for the MEMS industry to develop to today's scale. MEMS (micro electromechanical system) began in 1960s after the r

【作者】

：

CUIZheng

【机构】

：

RutherfordAppletonLaboratory

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

MEMS 微机电机械系统市场 NEXUS

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

1 IntroductionIt has been a long history for the MEMS industry to develop to today's scale. MEMS (micro electromechanical system) began in 1960s after the researchers in Westinghouse Laboratories created the 'resonant gate' transistor by etchi

其他文献

SiC和GaN电子材料和器件的几个科学问题

扼要地叙述了宽禁带半导体SiC和GaN电子材料和器件的发展状况,介绍了SiC多形体、AlGaN/GaN异质结极化效应、GaN器件的电流塌陷效应和陷阱效应、SiC和GaN器件的特征工艺问题(

期刊

宽禁带SICGAN半导体材料多形体电流塌陷效应陷阱效应冻析效应离子注入WBGSiCGaNsemiconductor materials

硅基隧穿二极管

隧穿二极管是一种很有前途的基于带隙工程的异质结构量子器件,其电流电压(I-Ⅴ)曲线中所呈现的微分负阻特性能够用于开发多种不同的电路功能.在最近的研究中,空穴型双势垒单

期刊

隧穿二极管异质结负微分电阻异质结构量子器件tunneling diodeheterojunctionnegative differential re

量子点在生命科学中的应用及其进展

量子点因其独特的光学和电子学性质而具有很高的实用价值.本文概述了量子点的特性和制备方法,着重阐述了其在生命科学,尤其是免疫生物学和临床检验学中的应用进展,并对其发展

期刊

量子点生命科学生物荧光材料免疫生物学临床检验学quantum dotsnanocrystalsbiological fluorescence ma

从美日之争看微纳米半导体技术的研究与发展

美国与日本在微米半导体和纳米半导体领域的竞争由来已久.1986～1992年日本在微米半导体方面领先于美国,尤其在DRAM领域,NEC、东芝和日立成为世界最强的前三名半导体公司,日本

期刊

半导体微米纳米美国日本技术竞争semiconductor micrometer nanometer competition

一种可制作任意纳米图形的新技术

提出一种可制作纳米量级任意微细结构图形的新方法.该方法利用特别设计制作的原子束计算全息片来操纵原子运动,在基底堆积形成纳米图形;弥补了原子光刻技术中利用激光驻波场

期刊

纳米结构制作激光冷却原子全息nano-pattern fabricatelaser coolingatomic hologram

微加工中的聚焦离子束直接写入技术

概述了聚焦离子束直接写入、离子研磨、离子注入及离子沉积技术.介绍了利用聚焦离子束技术在镀金硅片上研磨出的图案及制作出的各种纳米结构.聚焦离子束诱导沉积技术为将在各

期刊

微加工聚焦离子束直接写入蚀刻微结构半导体depositiondirect writingetchingFIBimplantationmic

Overview of worldwide MEMS industry and market

其他学术论文