【摘 要】
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研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系，并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜（Ф90mm×0．30mm），并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变
【机 构】
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中国电子科技集团公司第26研究所,中国工程物理研究院激光工程中心
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研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系，并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜（Ф90mm×0．30mm），并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜。结果表明，压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[（Zn1-bL6）1／3Nb2（1-x）3]eZTfTigOh，e＋f＋g=1，M—Ca、Sr、Ba、La、K，L—Ni、Co、Fe，其机电耦合系数kp≥O．72，压电常数d33≥590pC／N，居里温度Tc≥300℃，介电损耗tanδ≤1．2％，介电常数ε33^T/
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