【摘 要】
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通过分析MOS管结温对器件可靠性的重要性,指出现有老化方法在试验过程中未能达到最高允许结温,老化不充分的问题;提出了一种测试过程中实时测量MOS管导通电阻RDS(ON)推断结温
【基金项目】
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2018年四川省科技厅半导体可靠性测试平台项目(2018TJPT0009)
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通过分析MOS管结温对器件可靠性的重要性,指出现有老化方法在试验过程中未能达到最高允许结温,老化不充分的问题;提出了一种测试过程中实时测量MOS管导通电阻RDS(ON)推断结温的老化方法,使老化过程中受试器件的结温尽量控制在最高允许结温附近;介绍了自动老化测试系统的构成及工作模式,详细阐述了老化板的工作原理及老化参数标定的方法;以型号为IRFB4019的MOS管作为试验对象,对测试系统进行功能验证;试验结果表明,该老化方法试验过程受试器件结温可控,能够将结温控制在最高允许温度附近,可以更加有效地剔除存在潜
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