热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光特性研究

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qqanjun

【摘要】

：

报道了利用低压金属有机汽相外延(LP-MOCVD)工艺首先在硅(n-Si衬底上生长硫化锌(ZnS)薄膜,然后将硫化锌薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化,制备高质量的纳米氧化锌(ZnO)薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明,氧化锌具有六角纤锌矿型结构且具有择优(002)取向。在900 ℃退火的样品的光致发光(PL)中, 观察到一束强的380 nm紫外光致发光和相当弱的深能级发射。紫外发光强度与深能级发射强度之比是28,表明纳米ZnO薄膜的高质量结晶。

【作者】

：

张喜田刘益春马剑钢张吉英申德振许武钟国柱范希武

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态重点实验室,长春130021哈尔滨师范大学物理系,哈尔滨150080

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

：

2002年29期

【关键词】

：

纳米热氧化薄膜光致发光近带边发射自由激子 nanometer thermal oxidation thin film photoluminescenc

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