Preparation of Ultra-fine Aluminum Nitride in Thermal Plasma

来源 :等离子体科学和技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yizhonglishi
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Ultra-fine aluminum nitride has been synthesized by the evaporation of aluminum powder at atmospheric-pressure nitrogen plasma in a hot-wall reactor. The average size of aluminum nitride particle is 0.11μm measured by scanning electric mirror (SEM), and the purity is at least over 90% evaluated by X-Ray diffraction (XRD). The conversion of Al powder to aluminum nitride is strongly depended on the injection of NH3. Typical experimental parameters such as the feed rate of raw material, the flow rate of ammonia and the position of injecting aluminum powder into the reactor are given.
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