微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rlhRLH
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺,同时,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明,并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。
其他文献
文中介绍了测量电容式传感器电容的一般方法 ,并针对AMG公司开发的电容式信号转换成电压信号的集成电路CAV4 2 4作了应用性介绍。
提出一种基于磁阻器件的三维微型弱磁测量系统的设计,详细介绍了系统的硬件设计和软件设计.硬件设计包括A/D转换器、单片机、传感器的复位电路、电源管理以及PDA的选择;软件
目的观察加味当归补血汤治疗产后发热的临床效果。方法选择2018年3月~2019年6月我院收治的产后发热患者共98例,随机分为观察组49例及对照组49例,对照组给予抗感染、物理降温