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微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究
微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rlhRLH
【摘 要】
:
文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺,同时,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明,并通过实验测试结果反映其结构的新颖
【作 者】
:
牛德芳
沈月婷
庞济
仲崇权
Yin Fuliang
【机 构】
:
殷福亮大连理工大学电子信息工程学院辽宁省大连市116024,Dept.ofElec.Info.Engin
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
双杯
平面复合
差动电容
压力传感器
微机械
结构设计
Double Cup
Planar Compound
Differential Capacitive
S
【基金项目】
:
国家科技攻关项目
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文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺,同时,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明,并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。
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