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从离子束溅射的微观力效应出发，介绍了离子束去除加工的原理，分析了影响加工效率的因素，并对加工装置的结构及工作原理进行了探讨。
离子束去除加工原理探讨
【摘 要】
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从离子束溅射的微观力效应出发，介绍了离子束去除加工的原理，分析了影响加工效率的因素，并对加工装置的结构及工作原理进行了探讨。
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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电加工与模具
【发表日期】
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2001年1期
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