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为了精确测量步进电机的脉冲当量和回程差，提出了一种基于薄膜干涉原理的激光微位移测量系统。该系统以He．Ne激光器为光源，配以牛顿环仪系统、面阵电荷耦合器视频信号采集系统、计算机及数据处理软件等。采用条纹记数法实现微位移测量，具有1／400波长的位移分辨率。与传统测量方法相比，其精度、灵敏度及稳定性都有较大提高，特别适合范围在微米及微米以下的位移测量。对TSA50-C型商用步进电机进行了测量。结果验证了这种测量系统在普通实验室环境噪声中可以达到纳米级的位移测量精度。结果表明，对于5μm以下的脉冲当量及回程差