【摘 要】
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为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,针对离轴非球面的特点,提出了一种使用CGH技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法,将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,中国科学院研究生院,
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为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,针对离轴非球面的特点,提出了一种使用CGH技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法,将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行
In order to achieve high-precision positioning of off-axis aspheric surface, optical path alignment and surface inspection, aiming at the characteristics of off-axis aspheric surface, a method of using CGH technology to achieve high-precision optical detection of off-axis aspheric surface is proposed. Tilt and translate as a free-form surface on the axis
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