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X射线荧光光谱分析法广泛应用于物质成分的定性与定量分析.全反射X射线荧光分析法(TXRF)是在能量色散X射线荧光分析(EDXRF)原理的基础上,加入X射线的全反射技术形成的一种新的表面痕量分析方法.本文从原理、仪器装置及定量定性分析过程等方面,对EDXRF和TXRF进行了对比分析研究.作为一种新的X射线荧光分析方法,TXRF具有灵敏度高、检出限低等特点,同其他检测方法相比,在很多应用领域都显示出很好的优越性.