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利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径，导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型．采用此模型，对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析．分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关系．根据此分析结果，进一步优化了压电悬臂梁型微执行器的设计，并给出了优化的方法．
硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计
【摘 要】
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利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径，导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型．采用此模型，对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析．分析获得了各层薄膜结构参数与
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05A期
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