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通过射频磁控溅射技术在Si（111）衬底上制备了未掺杂和镧、钕掺杂ZnO薄膜。XRD分析表明，ZnO薄膜具有C轴择优生长，镧、钕掺杂ZnO薄膜为自由生长的纳米多晶薄膜。用AFM观测薄膜的表面形貌，镧、钕掺杂ZnO薄膜表面形貌粗糙。
RF溅射稀土(La,Nd)掺杂ZnO薄膜的结构
【摘 要】
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通过射频磁控溅射技术在Si（111）衬底上制备了未掺杂和镧、钕掺杂ZnO薄膜。XRD分析表明，ZnO薄膜具有C轴择优生长，镧、钕掺杂ZnO薄膜为自由生长的纳米多晶薄膜。用AFM观测薄膜的表
【机 构】
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西北工业大学应用物理系,渭南师范学院物理系,陕西理工学院物理系
【出 处】
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理化检验(物理分册)
【发表日期】
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2008年4期
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