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介绍了化学气相沉积(CVD)技术的应用,还有化学气相沉积(CVD)技术的最新发展,包括等离子增强化学气相沉积、激光化学气相沉积、金属有机化合物化学气相沉积;同时介绍了化学气相沉积(CVD)和化学液相沉积(CLD)技术在改性沸石催化性能方面的应用和研究。
化学气相沉积技术的进展
【摘 要】
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介绍了化学气相沉积(CVD)技术的应用,还有化学气相沉积(CVD)技术的最新发展,包括等离子增强化学气相沉积、激光化学气相沉积、金属有机化合物化学气相沉积;同时介绍了化学气
【机 构】
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辽宁石油化工大学,黑龙江省石油化学研究院
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2005年12期
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