基于空间光学调制的离焦探测技术研究

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本文提出一种基于空间光学调制的离焦探测新方法,利用PZT驱动变形镜对会聚光束进行调制,再经相关检波获得离焦信息。该技术具有测量快速、准确、探测动态范围大等优点。 In this paper, a new method of defocus detection based on spatial optical modulation is proposed. PZT is used to drive the deformable mirror to modulate the convergent beam, and the defocus information is obtained by the correlative detection. The technology has the advantages of fast, accurate measurement, large detection dynamic range.
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