【摘 要】
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纳米压印术可以用于大批量重复性地制备纳米图形结构.此项技术具有操作简单、分辨率高、重复性好、费时少,成本费用极低等优点.本文介绍了较早出现的软刻印术的两种方法--微
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纳米压印术可以用于大批量重复性地制备纳米图形结构.此项技术具有操作简单、分辨率高、重复性好、费时少,成本费用极低等优点.本文介绍了较早出现的软刻印术的两种方法--微接触印刷法和毛细管微模制法.详细讲述了纳米压印术(主要指热压雕版压印法)的各步工序--压模制备、压印过程和图形转移,以及用于压印的设备、纳米图案所达到的精确度等,还简述了纳米压印术的另一方法--步进-闪光压印法.最后,通过范例介绍了纳米压印术在制作电子器件、CD存储器和磁存储器、光电器件和光学器件、生物芯片和微流体器件等方面的应用.
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