【摘 要】
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采用化学气相沉积法在裂解炉管内表面沉积纯硅、硅铬、硅铝或硅铈的氧化物涂层，对涂层进行了SEM和EDS表征，并对其抗结焦性能进行了评价。实验结果表明，纯硅气相沉积得到球状颗粒
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采用化学气相沉积法在裂解炉管内表面沉积纯硅、硅铬、硅铝或硅铈的氧化物涂层，对涂层进行了SEM和EDS表征，并对其抗结焦性能进行了评价。实验结果表明，纯硅气相沉积得到球状颗粒氧化硅涂层，并含有大量C元素杂质；硅铈气相共沉积得到含有较少C元素的球状颗粒氧化硅涂层；硅铬气相共沉积可以减少涂层中的C元素，得到均匀致密的氧化硅涂层；硅铝气相共沉积后裂解炉管表面只有部分覆盖氧化硅涂层。硅铬氧化物涂层在6周期的石脑油水蒸汽热裂解评价中，结焦抑制率保持在80％以上。
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