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外延层剥离技术(ELO)制备GaAs薄膜太阳电池
外延层剥离技术(ELO)制备GaAs薄膜太阳电池
来源 :电源技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:anjiulo
【摘 要】
:
通过外延层剥离技术获得GaAs薄膜太阳电池样品,实验对比了正向和反向外延结构方法。解释了现有技术条件下。采用新颖的反向外延结构制备GaAs薄膜太阳电池的原因。对样品进行了
【作 者】
:
许军
刘海港
王帅
高伟
孙强
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第十八研究所
【出 处】
:
电源技术
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
MOCVD技术
外延层剥离技术
掩模工艺
MOCVD technology
epitaxial lift-off
mask technique
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通过外延层剥离技术获得GaAs薄膜太阳电池样品,实验对比了正向和反向外延结构方法。解释了现有技术条件下。采用新颖的反向外延结构制备GaAs薄膜太阳电池的原因。对样品进行了光电转换性能测试。并对实验结果进行了讨论。
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