【摘 要】
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声表面波(SAW)技术在电子学领域里获得了广泛的应用,许多有用的SAW器件正应用于雷达、通信、电子对抗、电视和广播系统中。最近,SAW传感器在敏感技术和无损检验中显示出独特
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声表面波(SAW)技术在电子学领域里获得了广泛的应用,许多有用的SAW器件正应用于雷达、通信、电子对抗、电视和广播系统中。最近,SAW传感器在敏感技术和无损检验中显示出独特的优点。本文简述新近研制成的各种SAW传感器,诸如温度、压力、电压、功率、离子和气体等传感器的基本原理、理论计算、结构设计和主要性能的最新进展。
Surface acoustic wave (SAW) technology has gained widespread use in the electronics industry and many useful SAW devices are being used in radar, communications, electronic warfare, television and broadcast systems. Recently, SAW sensors have shown unique advantages in both sensitive techniques and non-destructive testing. This article outlines the recent developments in the fundamentals, theoretical calculations, structural design, and main performance of newly developed sensors for various SAW sensors such as temperature, pressure, voltage, power, ion and gas sensors.
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