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研究了不同电极结构以及放电参数对微秒脉冲激励的氦等离子体射流放电特性的影响。实验中采用不同管内径、不同电极形状、不同重复频率等参数，通过采集放电阶段的电流电压图、发光图像以及发射光谱等，对等离子体射流的电学特性和光学特性进行诊断。实验结果表明，随着管内直径的增大，氦等离子体射流的长度减小；管内径为8mm时，等离子体射流的击穿电压与放电电流最小，同时，其发射光谱中第二正带系N2，N2^＋产和O等高能活性粒子的强度最高；管内径为5mm的等离子体射流的放电电流、功率及消耗的能量最大；在相同实验条件下，针尖电极结