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结型场效应晶体管,长期来几乎都是采用外延扩散法工艺.随着微电子技术发展,半导体生产的离子注入设备及工艺相继推出,离子注入工艺越来越成熟.本文介绍了应用离子注入替代外延扩散制造话筒管的工艺概况.
改用离子注入替代外延生产话筒管
【摘 要】
：
结型场效应晶体管,长期来几乎都是采用外延扩散法工艺.随着微电子技术发展,半导体生产的离子注入设备及工艺相继推出,离子注入工艺越来越成熟.本文介绍了应用离子注入替代外
【机 构】
：
河南新乡市半导体厂总工办
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
：
2002年4期
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