【摘 要】
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白色像素（WP）是CMOS图像传感器（CIS）的关键参数指标,而光电二极管的离子注入是影响白色像素的主要因素。本文基于4-T结构N型光电二极管（NPPD）CMOS图像传感器,从光电二极管离子注入
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白色像素（WP）是CMOS图像传感器（CIS）的关键参数指标,而光电二极管的离子注入是影响白色像素的主要因素。本文基于4-T结构N型光电二极管（NPPD）CMOS图像传感器,从光电二极管离子注入的剂量、能量和离子源种类三个方面,研究了对于两种不同白色像素的影响。首先,通过实验表明NPPD离子注入剂量是WP的主要产生因素,降低注入剂量可以同时减少两种WP的数量。其次,研究了NPPD离子注入能量对WP的降低作用,较低的注入能量同时减少了两种WP数量。第三,离子源种类也被研究用以改善WP,实验表明砷离子注入较磷
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