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研究了超低真空度（133.32-1333.22 Pa）内变化时,对加速电压为100 kV,束流为60-80 mA的电子束形状影响。为解决超低真空焊接和局部真空电子束焊接时,电子束严重散射问题,提出了氦气保护电子束的焊接方法,对无保护和氦气保护下真空度对电子束形状的影响进行试验测试,对电子束焊接过程进行了分析。同轴氦气保护电子束焊接获得了满意的焊接接头。