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用热丝化学气相沉积制备了碳纳米管，并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜研究了它们的结构。结果表明，用CH4和H2为反应气体制备的碳纳米管是弯曲和中空的，它们的直径较大，生长速率较低；在反应气体中加入N2气后，碳纳米管的平均直径减小，生长速率增大，它们是准直的和竹节型的。分析和讨论了N2对碳纳米管生长和结构的影响。