【摘 要】
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化学气相沉积是获得优质涂层、强化金属表面的手段之一。本工作初步研究了影响TiN化学气相沉积温度的工件因素,认为工件表面富N或存在易与N、Ti结合的元素可降低沉积温度,从
【机 构】
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化学气相沉积是获得优质涂层、强化金属表面的手段之一。本工作初步研究了影响TiN化学气相沉积温度的工件因素,认为工件表面富N或存在易与N、Ti结合的元素可降低沉积温度,从而改善了工艺条件。
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