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采用IBS法在锡青铜衬底上溅射沉积Sm-Fe非晶态超磁致伸缩薄膜，研究衬底的表面状态和薄膜热处理对Sm-Fe薄膜磁致伸缩性能的影响。实验结果表明，锡青铜衬底状态对Sm-Fe超磁致伸缩薄膜磁伸性能有很大影响。样品经过200℃真空热处理后，100mT内dλ/dH值从制备态Sm-Fe薄膜的0．71×10^-3T^-1提高到2．48×10．3T^-1，薄膜低场磁敏性得到显著提高。